精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品名稱: 精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號(hào): SEC-E 系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器
高精度控制：控制精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)，確保流量控制的準(zhǔn)確性。
快速響應(yīng)：響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒，適用于動(dòng)態(tài)過程控制。

精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器 的詳細(xì)介紹

精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器

高精度控制：控制精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)，確保流量控制的準(zhǔn)確性。
快速響應(yīng)：響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒，適用于動(dòng)態(tài)過程控制。
多通信協(xié)議支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協(xié)議，確保與不同系統(tǒng)的兼容性。
多氣體/多量程功能：用戶可通過軟件更改氣體類型和滿量程設(shè)置，無需更換設(shè)備，提升靈活性。
高可靠性設(shè)計(jì)：采用 316L 不銹鋼接液材質(zhì)，適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容。
支持多種通信模式：即數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。
高精度和高速響應(yīng)：提供高精度（+/- 1.0% 設(shè)定點(diǎn)）和高速響應(yīng)。

多氣體/多量程功能：可降低制程成本。

SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用，可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

高精度控制：控制精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)，確保流量控制的準(zhǔn)確性。
快速響應(yīng)：響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒，適用于動(dòng)態(tài)過程控制
。
多通信協(xié)議支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協(xié)議，確保與不同系統(tǒng)的兼容性。
多氣體/多量程功能：用戶可通過軟件更改氣體類型和滿量程設(shè)置，無需更換設(shè)備，提升靈活性。
高可靠性設(shè)計(jì)：采用 316L 不銹鋼接液材質(zhì)，適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容
。
支持多種通信模式：即數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®
。
高精度和高速響應(yīng)：提供高精度（+/- 1.0% 設(shè)定點(diǎn)）和高速響應(yīng)
。