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產品資料
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半導體工藝高密封型真空調節結構壓力調整器

產品名稱: 半導體工藝高密封型真空調節結構壓力調整器
產品型號: L96系列
產品特點: 半導體工藝高密封型真空調節結構壓力調整器
產品特點
專為半導體工藝設計:L96系列調壓閥是專為半導體工藝制造氣體設計的真空調節結構產品,特別適用于低蒸氣壓的氣體。
優良的密封性能:采用外部金屬密封和焊接接頭規格,具有優良的外部泄漏和顆粒性能,外部泄漏率低至1×10^-11 Pa?m³/s?He(真空法)。

半導體工藝高密封型真空調節結構壓力調整器 的詳細介紹

半導體工藝高密封型真空調節結構壓力調整器

半導體工藝高密封型真空調節結構壓力調整器

品特點

  • 專為半導體工藝設計:L96系列調壓閥是專為半導體工藝制造氣體設計的真空調節結構產品,特別適用于低蒸氣壓的氣體。
  • 優良的密封性能:采用外部金屬密封和焊接接頭規格,具有優良的外部泄漏和顆粒性能,外部泄漏率低至1×10^-11 Pa?m3/s?He(真空法)。
  • 寬廣的調整壓力范圍:調整壓力范圍為-0.1MPa至0.2MPa,能夠適應多種工藝需求。
  • 高承受壓力:進口側承受壓力可達22.2MPa,確保在高壓環境下的穩定運行。
  • 適配性強:工作溫度范圍為-10°C至+40°C,能夠適應不同的工作環境。

技術參數

  • 入口壓力:0.99MPa以下
  • 調整壓力:-0.1MPa~0~0.2MPa
  • 承受壓力:22.2MPa(進口側)
  • Cv值:0.07
  • 工作溫度:-10°C至+40°C
  • 外部泄漏:1×10^-11 Pa?m3/s?He(真空法)
  • 內容量:5.739cm3(不包括3個壓力表和配件)
  • 重量:約1.6kg
  • 安裝方法:背面用螺絲安裝

品特點

  • 專為半導體工藝設計:L96系列調壓閥是專為半導體工藝制造氣體設計的真空調節結構產品,特別適用于低蒸氣壓的氣體。
  • 優良的密封性能:采用外部金屬密封和焊接接頭規格,具有優良的外部泄漏和顆粒性能,外部泄漏率低至1×10^-11 Pa?m3/s?He(真空法)。
  • 寬廣的調整壓力范圍:調整壓力范圍為-0.1MPa至0.2MPa,能夠適應多種工藝需求。
  • 高承受壓力:進口側承受壓力可達22.2MPa,確保在高壓環境下的穩定運行。
  • 適配性強:工作溫度范圍為-10°C至+40°C,能夠適應不同的工作環境。

技術參數

  • 入口壓力:0.99MPa以下
  • 調整壓力:-0.1MPa~0~0.2MPa
  • 承受壓力:22.2MPa(進口側)
  • Cv值:0.07
  • 工作溫度:-10°C至+40°C
  • 外部泄漏:1×10^-11 Pa?m3/s?He(真空法)
  • 內容量:5.739cm3(不包括3個壓力表和配件)
  • 重量:約1.6kg
  • 安裝方法:背面用螺絲安裝

品特點

  • 專為半導體工藝設計:L96系列調壓閥是專為半導體工藝制造氣體設計的真空調節結構產品,特別適用于低蒸氣壓的氣體。
  • 優良的密封性能:采用外部金屬密封和焊接接頭規格,具有優良的外部泄漏和顆粒性能,外部泄漏率低至1×10^-11 Pa?m3/s?He(真空法)。
  • 寬廣的調整壓力范圍:調整壓力范圍為-0.1MPa至0.2MPa,能夠適應多種工藝需求。
  • 高承受壓力:進口側承受壓力可達22.2MPa,確保在高壓環境下的穩定運行。
  • 適配性強:工作溫度范圍為-10°C至+40°C,能夠適應不同的工作環境。

技術參數

  • 入口壓力:0.99MPa以下
  • 調整壓力:-0.1MPa~0~0.2MPa
  • 承受壓力:22.2MPa(進口側)
  • Cv值:0.07
  • 工作溫度:-10°C至+40°C
  • 外部泄漏:1×10^-11 Pa?m3/s?He(真空法)
  • 內容量:5.739cm3(不包括3個壓力表和配件)
  • 重量:約1.6kg
  • 安裝方法:背面用螺絲安裝


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