非接觸式高精度工藝穩定型紅外溫度計
如果樣品位于真空室中可以從室外通過窗口對樣品進行溫度測量。
在FPD生產過程中對液晶襯底的表面溫度進行測量時由于是非接觸式測量,物體表面不會被損壞。
在拋光過程中進行溫度控制時由于是非接觸式測量,物體表面不會被損壞。
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